Получать уведомления на электронную почту, если появились:
Книги авторов
Подписаны
Книги издательства 12
Закрыть
Чтобы подписаться сообщите адрес электронной почты
Введите корректный адрес электронной почты
Подписаться 12 Вы подписаны 12

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

№ 10149935
Получать уведомления на электронную почту, если появились:
Книги авторов
Подписаны
Книги издательства 12
Закрыть
Чтобы подписаться сообщите адрес электронной почты
Введите корректный адрес электронной почты
Подписаться 12 Вы подписаны 12
14,02 руб.–10%
Вы экономите 1,56 руб.
Ваша скидка 10%
15,58 руб.
Уже в корзине
Под заказ. Поставка 21 декабря

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Серия Нанотехнологии
Издательство Бином
Год издания 2010
Страниц 288
Переплет Твердый переплет
Формат 60х90/16 (145х215 мм, стандартный)
ISBN 978-5-9963-0032-7
Вес 410 г
Изготовитель ООО "Издательство "Бином". 127018, РФ, г. Москва, ул. Сущевский вал, д. 49
Импортер ООО «НТЦ АПИ», г. Минск, ул. Уманская, 54, пом. 1, каб. 34

Наверх

Вход

В течение нескольких секунд вам придёт SMS с одноразовым кодом для входа. Если ничего не пришло — отправьте код ещё раз.
Получите доступ к персональным скидкам и акциям, ускорьте оформление заказов.
Войдите с помощью своего профиля

Регистрация

Введите номер вашего мобильного телефона:
Войдите с помощью электронной почты или номера телефона
Войдите с помощью своего профиля

Восстановление пароля

Укажите адрес электронной почты, который вы использовали при регистрации
Нужна помощь? Звоните 695-25-25 (МТС, velcom, life:) или напишите нам

Восстановление пароля

Инструкции по восстановлению пароля высланы на 
Нужна помощь? Звоните 695-25-25 (МТС, velcom, life:) или напишите нам
Приходите в будние дни с 10 до 20, в субботу с 10 до 17. Воскресенье — выходной
695-25-25 МТС, velcom, life:)

Магазин OZ

Магазины OZ

Минск
Ещё 
В будние дни с 10 до 20
В субботу с 10 до 17
Воскресенье — выходной
695-25-25 МТС, velcom, life:)