Получать уведомления на электронную почту, если появились:
Книги авторов
Подписаны
Книги издательства 6
Закрыть
Чтобы подписаться сообщите адрес электронной почты
Введите корректный адрес электронной почты
Подписаться 6 Вы подписаны 6

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

№ 10183460
Получать уведомления на электронную почту, если появились:
Книги авторов
Подписаны
Книги издательства 6
Закрыть
Чтобы подписаться сообщите адрес электронной почты
Введите корректный адрес электронной почты
Подписаться 6 Вы подписаны 6
6,04 руб.
Уже в корзине
Под заказ. Поставка 14 декабря

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов.

Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.

Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Издательство Техносфера
Год издания 2006
Страниц 192
Переплет Твердый переплет
Формат 60х90/16 (145х215 мм, стандартный)
ISBN 5-94836-039-3
Вес 380 г
Изготовитель ЗАО "Рекламно-издательский центр "Техносфера". РФ, г. Москва, Лубянский проезд, 27/1
Импортер ООО «НТЦ АПИ», г. Минск, ул. Уманская, 54, пом. 1, каб. 34

Наверх

Вход

В течение нескольких секунд вам придёт SMS с одноразовым кодом для входа. Если ничего не пришло — отправьте код ещё раз.
Получите доступ к персональным скидкам и акциям, ускорьте оформление заказов.
Войдите с помощью своего профиля

Регистрация

Введите номер вашего мобильного телефона:
Войдите с помощью электронной почты или номера телефона
Войдите с помощью своего профиля

Восстановление пароля

Укажите адрес электронной почты, который вы использовали при регистрации
Нужна помощь? Звоните 695-25-25 (МТС, velcom, life:) или напишите нам

Восстановление пароля

Инструкции по восстановлению пароля высланы на 
Нужна помощь? Звоните 695-25-25 (МТС, velcom, life:) или напишите нам
Приходите в будние дни с 10 до 20, в субботу с 10 до 17. Воскресенье — выходной
695-25-25 МТС, velcom, life:)

Магазин OZ

Магазины OZ

Минск
Ещё 
В будние дни с 10 до 20
В субботу с 10 до 17
Воскресенье — выходной
695-25-25 МТС, velcom, life:)