Монография описывает планарную технологию изготовления сверхбольших интегральных схем, проектирование и применение прецизионного оптико-механического СТО оборудования для генерации топологии СБИС и ее формирования на полупроводниковых пластинах. В первой части издания раскрываются особенности формирования топологии как основного процесса в маршруте технологических процессов при производстве СБИС. Вторая часть посвящена СТО оборудованию, разрешение и точность которого определили все параметры современных СБИС и их дальнейшее развитие. Показана зависимость параметров СБИС от метрологической точности геометрических размеров топологии и ее элементов, которые обеспечивает СТО оборудование при последовательном формировании слоев микро- и наноэлектронных изделий.
Мобильное приложение OZ работает как бонусная карта. Получайте бонусные баллы и повышайте свой кешбэк, совершая покупки в приложении и в розничных магазинах. При оформлении заказа в приложении доставка в выбранный вами магазин бесплатная.
Бонусная программа действует на сайте OZ.by, в приложении и магазинах OZ.
Для установки и корректной работы приложения требуется Android 7 и выше или iOS 14 и выше.
Условия бонусной программы| Издательство | Белорусская наука |
| Год издания | 2018 |
| Страниц | 467 |
| Переплет | Твердый переплет |
| Суперобложка | 255 |
| Формат (ширина)х(высота) | Увеличенный 170×(215–260) |
| Размер издания | 170х240 мм |
| ISBN | 978-985-08-2323-6 |
| Возрастные ограничения | 12+ |
| Изготовитель | Белорусская наука |
| Доставка | Самовывоз — бесплатно.
Подробнее о видах доставки, доступных в вашем населенном пункте, — в разделе «Виды доставки». |
|
Все параметры
|
|
Мы используем файлы cookie для обеспечения удобства работы с сайтом и его контакта с пользователем.
Нажимая кнопку «Принять», вы даете согласие на обозначенные действия в соответствии с Политикой в отношении обработки cookie.