logo

Технология сверхбольших интегральных схем и оптико-механическое оборудование для микро- и наноэлектроники

№ 101175160
Автор: В. Мартынов, Год издания: 2018
Нет в продаже
Заявка принята

Монография описывает планарную технологию изготовления сверхбольших интегральных схем, проектирование и применение прецизионного оптико-механического СТО оборудования для генерации топологии СБИС и ее формирования на полупроводниковых пластинах. В первой части издания раскрываются особенности формирования топологии как основного процесса в маршруте технологических процессов при производстве СБИС. Вторая часть посвящена СТО оборудованию, разрешение и точность которого определили все параметры современных СБИС и их дальнейшее развитие. Показана зависимость параметров СБИС от метрологической точности геометрических размеров топологии и ее элементов, которые обеспечивает СТО оборудование при последовательном формировании слоев микро- и наноэлектронных изделий.

Фотографии покупателей
Издательство Белорусская наука
Год издания 2018
Страниц 467
Переплет Твердый переплет
Суперобложка 255
Формат (ширина)х(высота) Увеличенный 170×(215–260)
Размер издания 170х240 мм
ISBN 978-985-08-2323-6
Возрастные ограничения 12+
Изготовитель Белорусская наука
Доставка Самовывоз — бесплатно.
  • Заказ от 0 руб. до 49,99 руб. — стоимость доставки 9,99
  • Заказ от 50 руб. до 99,99 руб. — стоимость доставки 3,99
  • Заказ от 100 руб. — стоимость доставки "бесплатно".
Срок доставки устанавливается после оформления заказа.
Подробнее о видах доставки, доступных в вашем населенном пункте,  — в разделе «Виды доставки».
Все параметры
Cреди ваших покупок нет этого товара. Вы можете оставлять отзывы только к товарам, которые покупали на OZ.by
Напишите отзыв о книге или задайте вопрос
  • Оставить отзыв
  • Задать вопрос
Ваша оценка
ужасно
плохо
нормально
хорошо
отлично
Вам запрещено оставлять комментарии