- Книги
- Настольные игры
- Косметика, парфюмерия
- Товары для творчества
- Дом, сад, зоотовары
- Канцтовары, учёба
- Сувениры, подарки
- Сладости, напитки
- Детям и мамам
- Техника, электроника
- Спорт, отдых, туризм
-
Магазины OZ
-
Беларусь
-
Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС), наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11–32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России.
Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
Мобильное приложение OZ работает как бонусная карта. Получайте бонусные баллы и повышайте свой кешбэк, совершая покупки в приложении и в розничных магазинах. При оформлении заказа в приложении доставка в выбранный вами магазин бесплатная.
Бонусная программа действует на сайте OZ.by, в приложении и магазинах OZ.
Для установки и корректной работы приложения требуется Android 5 и выше или iOS 14 и выше.
Условия бонусной программыИздательство | Наука-М |
Год издания | 2018 |
Страниц | 138 |
Переплет | Мягкая обложка |
Формат | 70х100/16 (170х240 мм, увеличенный) |
ISBN | 978-5-02-040089-4 |
Вес | 248 г |
Изготовитель | Россия, 121099 г. Москва, Шубинский пер., 6, стр. 1 |
Импортер | ООО «Приносим радость», 220073, г. Минск, ул. Скрыганова, д. 14, каб. 36. |
Доставка | Самовывоз — бесплатно. Курьером по Минску — 9,99 р., бесплатно при заказе от 100,00 р. Срок доставки устанавливается после оформления заказа. Подробнее о видах доставки, доступных в вашем населенном пункте, — в разделе «Виды доставки». |
Все параметры
|
Содержание
Д.А. Свинцов, М.К. Руденко, А.Б. Немцов, А. Пильгун, И.А. Семенихин, Л.Е. Федичкин, В. В. Вьюрков, К. В. РуденкоВход
Регистрация
Восстановление пароля
Восстановление пароля
Согласие на обработку персональных данных
Подтверждаю ознакомление с целями обработки персональных данных, разъяснением прав, связанных с обработкой и порядком их реализации, и даю согласие на обработку персональных данных, в соответствии с Политикой в отношении обработки персональных данных